1700C CVD 3-зоновая вакуумная трубная печь с MFC газовым смесителем и молекулярным насосным агрегатом

Обзор продукции

PT D80/1500/17/3 представляет собой высокотемпературную трёхзоновую высоковакуумную трубную печь CVD. ОД80мм алюминиевая трубка, нагревательная длина 1500мм. Оснащается молекулярным насосом с уровнем вакуума до 10-5 торр,3-канальное МФК точное управление смешиванием газов. 304SS фланцы для охлаждения водой с игольными клапанами и габаритом, множественными входами и выходами воздуха для различных газов.Он использует микропроцессорную систему саморегулирования температуры Yudian PID с точностью контроля температуры +/- °C, MoSi2 стержни нагреваются, максимальная температура может достигать 1700°C (1500°C при высоком вакууме).вакуумное тонкопленочное покрытие, эксперименты с сердечно-сосудистыми заболеваниями и т.д.

Основные особенности

• Tmax 1700°C
• 3 зона нагрева высокий вакуум, трубная печь СВД
• Двойная стальная конструкция, минимальная потеря тепла
• Молекулярный насос, максимальный уровень вакуума до 10-5 торров
• 3-канальный газовый смеситель с управлением MFC
• Изолированная волокном камера с MoSi2 нагревательными элементами для максимальной температурной стабильности и однородности
• 304SS водоохлаждающие герметичные фланцы
• Цифровой PID-контроллер с программируемыми 30 сегментами с точностью +/- 1°C
• Термопары типа B
• ISO, CE

Меры безопасности

• Встроенный амперметр и двойные вольтметры для простого мониторинга и устранения неполадок.
• Защита от перегрева отключает печь, если температура выходит за пределы допустимого диапазона (см. руководство контроллера) или когда термопары сломаны или неисправно функционируют.
• Защита от отключения питания возобновляет работу печи сразу после момента отключения, когда электричество восстанавливается.
• Контроль PID на основе микропроцессора обеспечивает оптимальный тепловой процесс с минимальным превышением

Подробная информация о продукции

1700°C CVD 3-зоновая вакуумная трубная печь с газовым смесителем MFC и устройством для охлаждения водой

• PT D80/1500/17 состоит в основном из семи частей: корпуса печи, трубы печи, аксессуаров для уплотнения фланца, системы подачи газа, системы охлаждения воды,вакуумная насосная система и система контроля температуры
• Внешняя стальная оболочка печи обрабатывается маринованием и фосфатированием, покрытие порошковым покрытием на поверхности, коррозионная и окислительная стойкость, встроенный охлаждающий вентилятор,температура поверхности Rt+45°C
• Выдающийся внешний вид, соответствие ISO, CE

Профиль камеры для высоковакуумной трубной печи 1700°C CVD 3-х зон

• Керамическая изоляция с высоким содержанием алюминия, гравировка с помощью ЧПУ, плотное соединение стен камер, нагреватель MoSi2 типа U, устойчивый к температуре до 1800 °C
• Длина нагрева 600 мм, подходит для труб с диаметром 60 мм. Высокая пропускная способность труб с высокой температурой до 1700 °C.Критическая часть зоны нагрева внутри трубы печи оборудована пробкой керамической трубы, который может эффективно предотвратить выброс тепла и уменьшить потерю тепла
• Термопары типа B

Фланц для охлаждения воды, 1/4 дюймовая газовая сосна пагоды, молекулярный вакуумный насос

• Оборудовано наборным фланцем для охлаждения водой SS304, герметизированным высокотемпературными герметическими кольцами из фтора.
• Ввод и выход воздуха принимает G1/4-дюймовый воздушный сосуд пагоды, который может быть подключен к трубе из PTFE с наружным диаметром 8 мм
• Подключенный молекулярный насос с KF25, убедитесь, что уровень вакуума достигает 10 *-5mbar

Программы нагрева для 1700°C СВД высокотемпературных 3-х зонных трубных печей

• Программируемые 30 сегментов, скорость нагрева 1-10C/мин свободно регулируемая
• Хорошая теплоизоляция, естественное охлаждение, медленное охлаждение
• 7 "тач-скрин панель является необязательным, нагревательные программы могут быть показаны своевременно, и загрузить

TТехнические характеристики

Примечания к заявке

• Давление трубки обработки должно быть ниже 0,02 МПа
• Источник газа должен оснащать клапан понижающего давление
• Перед заполнением редукционных газов, таких как H2, должны выкачивать воздух из трубы
• При заполнении газов из газового входа в трубу, следует убедиться, что газовый выходный клапан открыт

Сравнение размеров