1700C высокая температура 3 зоны лаборатории CVD вакуумная трубная печь с OD60 мм алюминиевой трубкой

Обзор продукции

PTC D60/600/17/3 - это сертифицированная CE трубная печь 60 мм OD 3 зоны с полным вакуумным уплотнительным фланцем.Каждая зона нагрева 12 "в длину и контролируется тремя точностью 30 сегментов цифровых контроллеров температуры независимоОдна зона (центральная зона) нагревается элементами Super-1800 MoSi2 до 1700°C, а еще две зоны нагреваются элементами SiC до 1400°C.Трубная печь может создать различные тепловые градиент путем регулирования трех зон температурыЭто отличная печь для подготовки функциональных материалов под термическим градиентом, а также может быть использована для роста эпитаксиальной пленки путем СВД.

Основные особенности

• Диапазон рабочей температуры 1200-1700°C
• Двойная стальная структура, минимальная теплопотеря; три зоны нагрева, контролируемые независимо
• 990,6% алюминиевая трубка с быстрораскрывающимися фланцами SS304 для охлаждения водой
• Мощные нагревательные элементы MoSi2 обеспечивают равномерную температуру
• Изолированная волокном камера для максимальной температурной стабильности и однородности
• Цифровой контроллер PID с программируемыми 30 сегментами
• Индивидуальный набор устройств подачи газа, доступный для смешивания газа с Ar, N2 CO, H2 и т.д.
• Термопары длительного действия типа B
• Сертификат CE

Меры безопасности

• Встроенный амперметр и двойные вольтметры для простого мониторинга и устранения неполадок.
• Защита от перегрева отключает печь, если температура выходит за пределы допустимого диапазона (см. руководство контроллера) или когда термопары сломаны или неисправно функционируют.
• Защита от отключения питания возобновляет работу печи сразу после момента отключения, когда электричество восстанавливается.
• Контроль PID на основе микропроцессора обеспечивает оптимальный тепловой процесс с минимальным превышением

Подробная информация о продукции

1700°C трёхзонная высокотемпературная вакуумная трубная печь CVD

• Высокотемпературная трубная печь CVD 1700C состоит в основном из пяти частей: корпуса печи, трубы печи, аксессуаров для уплотнения фланца, системы подачи газа,вакуумная система и система контроля температуры
• Внешняя стальная оболочка печи обрабатывается маринованием и фосфатированием, покрытие порошковым покрытием на поверхности, коррозионная и окислительная стойкость, встроенный охлаждающий вентилятор,температура поверхности Rt+45°C
• Соответствие ISO, CE

Профиль камеры для трубной печи высокой температуры 1700°C СВД 3-х зон

• Керамическая изоляция с высоким содержанием алюминия, гравировка с помощью ЧПУ, плотное соединение стен камер, нагреватель MoSi2 типа U, устойчивый к температуре до 1800 °C
• Длина нагрева 600 мм, подходит для труб с диаметром 60 мм. Высокая пропускная способность труб с высокой температурой до 1700 °C.Критическая часть зоны нагрева внутри трубы печи оборудована пробкой керамической трубы, что может эффективно предотвратить утечку тепла и уменьшить потерю тепла.
• Термопары типа B

Быстрооткрывающий фланц, поддержка труб печи, 1/4 "пагода газовая сосна, вакуумный насос

• Оснащенные быстро открывающимися фланцами для охлаждения водой SS304 для быстрой загрузки и разгрузки материалов, запечатанные герметическими кольцами из высокотемпературного фтора
• Впуск и выход воздуха принимает G1/4-дюймовый воздушный сосуд пагоды, который может быть подключен к трубе из PTFE с наружным диаметром 8 мм. Максимальный вакуум может достигать 10 * -7 торр
• Подключенный молекулярный насос с KF25, убедитесь, что уровень вакуума достигает 10 *-5mbar

Программы нагрева для 1700°C СВД высокотемпературных 3-х зонных трубных печей

• Программируемые 30 сегментов, скорость нагрева 1-10C/мин свободно регулируемая
• Хорошая теплоизоляция, естественное охлаждение, медленное охлаждение
• 7 "тач-скрин панель является необязательным, нагревательные программы могут быть показаны своевременно, и загрузить

TТехнические характеристики

Примечания к заявке

• Давление трубки обработки должно быть ниже 0,02 МПа
• Источник газа должен оснащать клапан понижающего давление
• Перед заполнением редукционных газов, таких как H2, должны выкачивать воздух из трубы
• При заполнении газов из газового входа в трубу, следует убедиться, что газовый выходный клапан открыт

Сравнение размеров