Рабочая станция многозоновой трубной печи CVD состоит из трубной печи с несколькими зонами нагрева, точной станции контроля массового потока газа,высоковакуумные насосные агрегаты и другие сборные части, такие как трубы печиTmax 1200°C, максимальная скорость вакуума достигает 10-7 торров с молекулярными вакуумными насосами.Станция контроля массового потока газа смешивает три или более видов газа вместе и вводит смешанный газ в кварцевую трубу или металлические трубы внутри печиМногозоновая трубная печь является компетентной для экспериментов, таких как СВД, диффузия и другие термические обработки под вакуумным состоянием и защитой атмосферы.
Передний вид для вращающейся трубной печи 1200C
Модель No. | PTC D120/1000/12/3 |
Зона отопления |
Четыре зоны отопления |
Электрическое питание | 15 кВт AC380-415V, 50/60Hz, 3-фазный |
Рабочая температура |
Tmax 1200°C (2192°F) |
Контроллер температуры |
ШимаденКонтроллер PID |
Скорость нагрева | ≤ 25°C /мин |
Термопары | Тип N |
Покрытие камеры | Сырье MitsubishiПлощадь из высокоалюминиевых волокон 1500# |
Труба печи |
Материал: кварц или металл |
Вакуумные фланцы |
Фланцы уплотнителей SS304 |
Уровень вакуума |
Макс 10E-7 торр с молекулярным насосом |
Нагревательный элемент |
Провода HRE сопротивления катушки |
Информация о перевозке | Масса: 660 кг W2150xL1200xH1360 мм |
Соответствие | CE, ISO |
Гарантия | 18 месяцев ограниченной гарантии с пожизненной технической поддержкой |
Наименование товара | PTC D40/440/12 | PTC D80/440/12 | PTC D100/440/12 |
Длина нагрева | 440 мм | 440 мм | 440 мм |
Размер трубы | OD40xL800 мм | OD80xL1000 мм | OD100xL1000 мм |
Сила | 4 кВт | 7 кВт | 8 кВт |
Чистая масса | 108 тенге | 275 тенге | 360 кг |